过氧化氢灭菌器采用过氧化氢为灭菌因子杀灭负载微生物，压力、温度、时间等灭菌的主要技术参数由程序设定并控制。灭菌器一般由灭菌室、加注系统、汽化系统、真空系统、控制系统、回空系统、等离子体发生器等组成。

　　（1）灭菌室：该部分为灭菌器的核心承压部件，是运行灭菌过程的载体。通常由腔体、舱门等组成一个密闭的空间。若具有等离子功能还配有网状电极。通过管路与真空系统、注入系统、进气系统等相连接。网状电极与外部的等离子体发生器电源相连接。舱门的控制可以有自动方式、手动方式等。

　　（2）真空系统：该部分实现对灭菌室的抽真空等功能。真空性能与过氧化氢的汽化、扩散穿透效果密切相关。通常由真空泵、压力传感器、油雾过滤器、过氧化氢气体过滤器、抽空控制阀等组成。真空泵和压力传感器是实现真空的核心部件，影响真空性能的优劣。

　　（3）加注系统：该部分实现对过氧化氢灭菌剂的存放、定量、加注。目前产品以卡匣式加注为主，也有瓶装加注方式。卡匣式结构通常由穿刺机构、加注装置、阀门、管道等组成。

　　（4）汽化系统：该部分实现将加注的液态过氧化氢充分汽化，并均匀扩散到灭菌室内。目前产品大多采用先将过氧化氢溶液提纯，然后再汽化；也有部分产品采用直接汽化的方式。提纯过程就是将低浓度的过氧化氢提高到较高浓度。过氧化氢气体在扩散过程中会不断分解，纯度提高后，有利于提高气体的穿透能力，以灭菌效果。通常由提纯装置、加热装置（加热膜、加热棒等）、汽化室、电磁阀、温度检测装置等组成。

　　（5）控制系统：该部分实现对灭菌过程的压力、温度、时间等过程参数的控制、显示、输出，达到灭菌所需的量值和精度，并对预设周期参数进行监控。通常由控制装置、显示装置、数据记录装置等组成。

　　（6）等离子体发生器：该部分实现对灭菌物品上残留过氧化氢解析，以达到安全要求。目前产品以等离子体方式解析为主，也有部分产品采用通风方式进行解析。通常由等离子电源、电极网连接电缆等组成。

　　（7）回空系统：该部分与真空系统配合，实现将空气过滤后注入到灭菌室内或排出气体，用于消除室内负压或用于过氧化氢残留解析。通常由空气过滤器、回空控制阀等组成。